半導(dǎo)(dǎo)體無塵車間工作制度       上海

一、步入無塵車間前期準(zhǔn)(zhǔn)備工作
1、進(jìn)(jìn)入無塵車間前，必須經(jīng)(jīng)過凈化工程公司培訓(xùn)(xùn)。
2、進(jìn)(jìn)入無塵車間嚴(yán)(yán)禁吸煙，飲食，外來雜物不可攜入。
3、進(jìn)(jìn)入無塵室前，需在規(guī)(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)(nèi)，柜內(nèi)(nèi)不可放置食物。
4、進(jìn)(jìn)入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規(guī)(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯（洗塵室地板上）方得進(jìn)(jìn)入。
5、戴口罩時(shí)(shí)，應(yīng)(yīng)將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時(shí)(shí)污染芯片。
6、穿著無塵衣，無塵帽前應(yīng)(yīng)先整理服裝以及頭發(fā)(fā)。
7、整理儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則：
（1）頭發(fā)(fā)必須覆蓋在帽內(nèi)(nèi)，不得外露。
（2）無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。
8、無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應(yīng)(yīng)尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時(shí)(shí)應(yīng)(yīng)注意帽之下擺應(yīng)(yīng)保平整之狀態(tài)(tài)，無塵衣不可反穿。
9、穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實(shí)(shí)蓋在褲管之上。
10、戴手套時(shí)(shí)應(yīng)(yīng)避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處（防止鈉離子污染），戴上手套后，應(yīng)(yīng)將手套之手腕置于衣袖內(nèi)(nèi)，以隔絕污染源。
11、無塵衣著妥后，經(jīng)(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進(jìn)(jìn)入無塵室。
12、不論進(jìn)(jìn)入或離開無塵室，須按規(guī)(guī)定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區(qū)(qū)域?yàn)櫓炔豢稍跓o塵室內(nèi)(nèi)邊走邊脫。
13、無塵衣、鞋套等，應(yīng)(yīng)定期清洗，有破損，脫線時(shí)(shí)，應(yīng)(yīng)即換新。
14、脫下無塵衣時(shí)(shí)，其順序與穿著時(shí)(shí)相反。
15、脫下之無塵衣應(yīng)(yīng)吊好，并放于更衣室內(nèi)(nèi)上層柜子中；鞋套應(yīng)(yīng)放置于吊好的無塵衣下方。
16、更衣室內(nèi)(nèi)小柜中，除了放置無塵衣等規(guī)(guī)定物品外，不得放置其它物品。
17、除規(guī)(guī)定紙張及物品外，其它物品不得攜入無塵室。
18、無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)(guī)定處所。
19、口罩與手套可視狀況自行保管或重復(fù)(fù)使用。
20、任何東西進(jìn)(jìn)入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。
21、任何設(shè)(shè)備的進(jìn)(jìn)入通知管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進(jìn)(jìn)入。
22、未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當(dāng)(dāng)處理，例如關(guān)(guān)閉水、電、氣體等開關(guān)(guān)。
23、無塵室內(nèi)(nèi)不可動(dòng)(dòng)火，以免發(fā)(fā)生意外。
二、無塵室操作須知
1、處理芯片時(shí)(shí)，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請(qǐng)勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)(jīng)清洗，方得繼續(xù)(xù)使用。
（1）任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請(qǐng)勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
（2）芯片清洗后進(jìn)(jìn)行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。
（3）把芯片放置于石英舟上，準(zhǔn)(zhǔn)備進(jìn)(jìn)爐管時(shí)(shí)，若發(fā)(fā)現(xiàn)(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。
2、芯片必須放置盒中，蓋起來存放于規(guī)(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。
3、避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進(jìn)(jìn)擴(kuò)(kuò)散爐前，要特別注意，防止上述動(dòng)(dòng)作產(chǎn)(chǎn)生。
4、從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時(shí)(shí)，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。
5、芯片上，若已長(zhǎng)上氧化層，在送黃光室前切勿用刀在芯片上刻記。
6、操作時(shí)(shí)，不論是否戴上手套，手絕不能放進(jìn)(jìn)清洗水槽。
7、使用化學(xué)(xué)站或烤箱處理芯片時(shí)(shí)，務(wù)(wù)必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)(nèi)，不可使用塑料盒。
8、擺置芯片于石英舟時(shí)(shí)，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進(jìn)(jìn)氧化爐。
9、請(qǐng)勿觸摸芯片盒內(nèi)(nèi)部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。
10、手套，廢紙及其它雜碎東西，請(qǐng)勿留置于操作臺(tái)，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)(zhì)變多必須換新。
11、非經(jīng)(jīng)指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)(guān)閥控制鈕或把手。
12、奇怪的味道或反應(yīng)(yīng)異常的溶液，顏色，聲響等請(qǐng)即通知相關(guān)(guān)人員。
13、儀器因操作錯(cuò)(cuò)誤而有任何損壞時(shí)(shí)，立刻告知負(fù)(fù)責(zé)(zé)人員。
14、芯片盒進(jìn)(jìn)出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進(jìn)(jìn)入。
15、無塵室內(nèi)(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄。
三、黃光區(qū)(qū)操作須知
1、濕度及溫度會(huì)(huì)影響對(duì)準(zhǔn)(zhǔn)工作，在黃光區(qū)(qū)應(yīng)(yīng)注意溫度及濕度，并應(yīng)(yīng)減少對(duì)準(zhǔn)(zhǔn)機(jī)(jī)附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2、上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)(qū)以免感光。
3、已上妥光阻，而在等待對(duì)準(zhǔn)(zhǔn)曝光之芯片，應(yīng)(yīng)放置于不透明之藍(lán)(lán)黑色晶盒之內(nèi)(nèi)，盒蓋必須蓋妥。
4、光罩使用時(shí)(shí)應(yīng)(yīng)持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷。
5、曝光時(shí)(shí)，應(yīng)(yīng)避免用眼睛直視曝光機(jī)(jī)汞燈。
四、鑷子使用須知
1、進(jìn)(jìn)入實(shí)(shí)驗(yàn)(yàn)室后，應(yīng)(yīng)先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。
2、唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。